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2025年02月14日 星期五

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  • 更新时间:2023-05-12
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HVA 矩形阀 88200 系列

HVA 矩形阀 88200 系列

上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀,可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀于真空相关系统,起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小,设计紧凑,可靠应用于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与工艺腔室(process chamber)等等,需要分隔真空压力的地方。

 

HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点

1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末,颗粒,防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口,或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下

HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数

连接形式:

标准或定制法兰

主体材料:

公称通径:

DN32*222 mm-DN50*336

DN32*222 mm-DN100*1250

漏率:

2x10E-9 AtmCC/Sec

压力范围: 

1x10E-9 Torr

烘烤温度:

《150℃

适用介质:

水、蒸汽、空气

密封形式:

软密封型

驱动方式:

气动

使用寿命:

1000000 启闭次数

 

28200&88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图

DN

Model

 

 

mm

inch

Number

J (Bolted Body)

K (Clamped Body)

32 x 220

1.26 x 8.74

28212-0109RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

32 x 332

1.26 x 13.07

28212-0113RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

46 x 236

1.81 x 9.29

28212-0209RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

50 x 336

1.97 x 13.23

28212-0213RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

 

HVA 28200&88200 系列矩形真空板阀部件图

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上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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