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涡轮分子泵 HiPace 1200-2800 IT
- 更新时间：2023-11-16
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叶南晶 女士
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Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 1200-2800 IT
上海伯东销售维修 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200-2800 IT, 抽速范围 1200-2300 l/s 的全系列紧凑型复合轴承涡轮分子泵, 对小分子量气体 H2, He 和大分子量气体 Ar, CF4 都有很高的抽速. 由于这些分子泵通常在恶劣的工艺环境中使用, Pfeiffer 提供针对具体应用的定制解决方案: 例如, 用于抗腐蚀的 Kepla®涂层, 用于防止高压区域工艺沉积的温度管理系统, 以及在辐射下使用的外部电子设备.
分子泵 HiPace 1200-2800 IT 特点
小分子气体的高压缩比
坚固的复合转子悬架
对工艺沉积的抵抗力强
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
可用于带有外部电子设备的抗辐射泵
温度管理系统
标准认证 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV
防护等级 IP54 符合工业环境应用要求
适用于各种严苛工艺如刻蚀, 溅镀, 分子泵耐粉尘
分子泵 HiPace 1200-2800 IT 技术参数：
分子泵型号 | 分子泵连接尺寸 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | 高启动压强hPa | 极限压力 | 全转速气体流量hPa l/s | 启动时间 | 重量 | |||
进气口 | 排气口 | 氮气 | 氦气 | 氢气 H2 | 氮气 | 氮气N2 | hPa | 氮气N2 | min | kg | |
HiPace® 1200 | 200 | 40 | 1250 | 1300 | 1100 | > 1X108 | 2 | < 1X10–7 | 20 | 2.5 | 27 – 40 |
HiPace® 1500 HiPace® 1500 C | 250 | 40 | 1400 | 1350 | 1150 | > 1X108 | 2 | < 1X10–7 | 20 | 2.5 | 29 – 41 |
HiPace® 1800 | 200 | 40 | 1450 | 1,650 | 1700 | > 1X108 | 1.8 | < 1X10–7 | 20 | 4 | 33 – 34 |
HiPace® 2300 | 250 | 40 | 1900 | 2,000 | 1850 | > 1X108 | 1.8 | < 1X10–7 | 20 | 4 | 34 – 47 |
HiPace® 2800 IT | 250 | 40 | 2300 | 2900 | 2600 | > 1X108 | 1.8 | < 1X10–7 | 18 | 4 | 62 |
HiPace: 凭借成熟和优化的轴承系统以及泵速和压缩比之间的良好组合, 标准的 HiPace 分子泵适用于所有类型的应用
HiPace C: 为腐蚀性应用而设计. 得益于转子上的 Kepla®涂层, HiPace C 分子泵对各种工艺化学品具有的抵抗力.
HiPace I: 专为离子注入工艺设计. 涡轮分子泵复杂的转子设计使小分子气体(氢气)的抽速得到了优化, 确保了离子注入工艺的佳工艺适应性.镍涂层转子确保了分子泵的坚固性.
HiPace T: 温度管理系统可以减少工艺沉积的数量. 通过提高高压区的温度, 可以减少冷凝现象. 该功能可与 C-版本（HiPace CT）相结合, 以提供对工艺化学品的耐腐蚀性以及对泵内工艺沉积的耐受性.
分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 应用领域：
1. 分析仪器 2. 半导体 3. 镀膜 4. 工业 5. 研发
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速高 90,000 rpm, 极限真空大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>
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